不同尺寸的纳米级平台可组成高精密的纳米级模组,
并能提供优异的稳定性和可靠性。
如DNT-350-50-50为最苛刻的应用提供高精度运动。
由两个DNT130L-50模组和一个DNT180L-350模组组成的组件,
该组件提供3个轴(XYZ)的运动,可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用