◆DPLM系列性能优异,模组具有持续、可靠的
◆运动性能,运动精度可以达到200nm。
◆性能高,最小增量运动为100nm
◆非接触直接驱动系统,精度高、动态性能
◆优异且操作可靠
◆行程范围:60mm-620mm