◆定位精度补偿后可达4μm,重复定位精度最高可达±1μm;
◆速度最高可达 3.5m/s ;
◆用于激光切割设备、AOI检测设备、激光直接成像(LDI)、异插、贴辅料、点胶等高精密设备;
◆可根据客户要求定制。