◆Planar系列采用自主研发的无铁芯线性电机,效率高、速度快、高精度。
◆适用于医药行业, 激光切割, 生物技术, 计量, 激光打标等领域。
◆节省空间,重量轻巧的XY平台
◆高精度,低噪音
◆最小位移增量100nm