特殊型无铁芯线性马达
经过特殊设计，具有某些特别性能的马达，在医疗器械，机器视觉系统，半导体(尤其是DieBonding)、LED、太阳能封装设备等领域具有广泛的应用。》DHUS1系列》DHUS2系列
◆自重小，加速快，动力大，可提供大于10G的高加速度
◆运动平稳，可提供1um/s的最低速度，最高速度可高达15m/s，高、低速下同样具有很高的定位和运动精度
◆允许马达在真空环境下使用
◆可组成独特的Decouple结构，是高性能XY平台的一种重要组成方式
◆马达小巧、性价比高
◆结构轻巧灵活，安装紧凑，适合安装空间小，高速、高频响的场合
